Spectromètre de photoélectrons rayons X

de laboratoirepour R&DMCP

Résolution XPS d'imagerie ultime : 500 nm / 100 nm (Laboratoire / Synchroton) Navigation facile des échantillons grâce à la technologie PEEM Spectroscopie par petites taches Filtre d'énergie corrigé par aberration Source de rayons X monochromatique de haute puissance ARUPS avec réception de l'angle final Créé en collaboration avec FOCUS GmbH Le NanoESCA offre une cartographie de l'état chimique avec une résolution latérale XPS inégalée (<500 nm obtenue en laboratoire). L'instrument permet d'analyser les plus petites structures d'échantillons, ce qui donne des informations sur l'état chimique au-delà des limites d'autres techniques à haute résolution latérale telles que la vis sans fin à balayage et le SIMS TOF La navigation en temps réel de l'échantillon est assurée par la technique PEEM qui fonctionne en régime électronique secondaire. Le mode PEEM permet de trouver facilement de petites caractéristiques sur une grande surface d'échantillon et fournit une haute résolution (< 50 nm de résolution). De plus, le mode PEEM fournit des informations quantitatives sur la fonction de travail très locale et le chargement d'échantillons locaux. Les capacités de spectroscopie du NanoESCA peuvent être complétées par l'option ARUPS qui permet d'analyser l'espace k des zones m, par exemple de petits grains dans une surface polycristalline avec acceptation angulaire ultime. Pour son design révolutionnaire, le NanoESCA a reçu le prix R&D 100 2007.