Système MBE UHV PLD

La combinaison d'un système compact de MULTIPROBE avec une chambre de préparation de PLD permet des études in-situ de la structure électronique et physique épitaxial de développé les oxyde-surfaces et les interfaces binaires et complexes, par exemple perovskites telles que LaAlO3, SrTiO3, LaMnO3. La chambre d'analyse pour l'analyse structurale des échantillons est équipée d'une température variable STM avec la sonde de Qplus AFM. L'analyseur d'électron de SPHERA U5 et la source duelle de rayon X de l'anode DAR400 tiennent compte de l'analyse de la structure électronique des films. La chambre de PLD est équipée d'un manipulateur témoin qui peut courir dans un environnement oxygène-riche, une étape de cible avec jusqu'à 5 cibles et un RHEED à haute pression qui tient compte de la caractérisation in-situ des films développés.