Évaporateur par faisceau d'ions EFM 6

de process

L'aire d'évaporation > 50 millimètres d'évaporation 10 cm3 capacitiy de creuset jusqu'à des fils, des tiges ou des creusets a intégré le refroidissement par l'eau refroidi d'obturateur pour l'élévation minimum de pression un produit de FOYER que le vaporisateur d'EFM 6 développe la gamme de produits d'EFM sur une plus grande échelle. Avec une bride basse des CF du nanowatt 63 (4.5 " OD) et une capacité de creuset de jusqu'à 10 cm3, les prises d'EFM 6 environ dix fois autant matériel que l'EFM 3. Déjà à une distance fonctionnante courte l'aire d'évaporation est plus grande que 50 millimètres de diamètre, qui fait l'EFM 6 idéalement adapté aux substrats entre 2 " et 4 ". En comportant un flux intégré surveillez et l'obturateur, l'EFM 6 est un outil unique dans la gamme moyenne de vaporisateur, non seulement appropriée à la croissance des secondaire-monocouches mais également aux plots de connexion épais etc. Pour les cycles prolongés de service, l'EFM 6 est équipé d'un double filament. La puissance élevée exigée de chauffer les grands creusets est assurée par l'EVC 1200.