Verre MEMpax®

Verre borosilicaté ultra-mince SCHOTT MEMpax® est un verre borosilicaté dont la surface est polie au feu. Il présente des caractéristiques chimiques et physiques similaires à celles du produit bien connu SCHOTT Borofloat® 33. En même temps, MEMpax® est disponible dans des épaisseurs beaucoup plus faibles et offre une tranche mince qui n'a plus besoin d'être meulée et polie grâce à son excellente qualité de surface. SCHOTT MEMpax® peut être utilisé partout où des verres borosilicatés extrêmement fins sont nécessaires. Le coefficient de dilatation thermique linéaire de MEMpax® correspond à celui du silicium, et ce verre est parfaitement adapté à une utilisation en collage anodique. En raison de sa faible autofluorescence, de son excellente qualité de surface, de sa planéité et de son homogénéité, les possibilités d'application du MEMpax® dans les systèmes microélectromécaniques (MEMS) et la biotechnologie sont nombreuses. Avantages Systèmes microélectromécaniques (MEMS) - Coefficient de dilatation thermique linéaire correspondant à celui du silicium - Convient pour le collage anodique - Plaquettes de verre borosilicate minces sans polissage - Haute résistance thermique et chimique Biotechnologie - Haute transmission - Disponible en différentes épaisseurs - Faible autofluorescence - Excellente qualité de surface Données techniques Dimensions : 2" à 12", rond ou rectangulaire Rugosité de surface Ra : < 0.5 nm Epaisseurs* : 0.1 mm à 0,5 mm Epaisseurs standard* : 0.2 mm, 0,3 mm, 0,4 mm, 0,5 mm Facteur de transmission lumineuse ΤvD65 (épaisseur = 0,5 mm) : 92,9% Coefficient de dilatation thermique linéaire moyen α (20 °C ; 300 °C) (mesure statique) : 3,3 - 10-6 K-1 Température de transformation Tg : 532 °C Constante diélectrique εr à 1 MHz : 4.8 Indice de réfraction nD (tel que dessiné) : 1.4714 Densité ρ (recuit à 40 °C/h) : 2,22 g/cm3