Système de chargement et déchargement pour déchargeur

de wafer

Les plaquettes/cellules sont transférées entre les différentes étapes du processus, soit manuellement, soit via le système Montrac, dans des chariots SCHMID spécialement conçus à cet effet. Les supports pleins sont positionnés en ligne dans le chargeur et déplacés vers la position de transfert. Là, les plaquettes/cellules sont extraites des caisses porteuses par un système d'indexation et sont ensuite acheminées vers l'équipement de traitement. En sens inverse, le déchargeur reçoit les plaquettes/cellules et assure un chargement constant des supports SCHMID. Pour cela, les plaquettes/cellules sont synchronisées en rangées sur des bandes transporteuses à vitesse contrôlée et sont successivement stockées dans les caisses porteuses vides via un système d'indexation. Débit maximal sur un espace réduit Transport des plaquettes/cellules sans vibrations et en toute sécurité Convient à différentes tailles de plaquettes/cellules Faible taux de rupture < 0,1 % Convient aux tranches/cellules très fines à partir de 120 µm