Machine de traitement de surface par plasma PlasmaLine P+

automatique

Gravure et dépôt par plasma pour les circuits imprimés HDI+ et les substrats de circuits intégrés PlasmaLine est un outil multi-processus pour le traitement des cartes et substrats HDI+. Les systèmes ont une conception modulaire en ligne pour un traitement dynamique et simultané de gravure et de dépôt double face sur des matériaux rigides et flexibles. L'orientation verticale du panneau dans le cadre et un entraînement magnétique permettent un transport sans contact et un environnement sans particules. La PlasmaLine comprend des modules de verrouillage de charge, des modules de plasma à couplage inductif (ICP), des modules de dépôt physique en phase vapeur par pulvérisation magnétron (MS PVD) et des modules de refroidissement par rayonnement. Le module ICP peut être utilisé pour la gravure sèche, le desmear et le traitement de surface et pour le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) de couches diélectriques. Les modules PVD sont composés de deux paires de magnétrons planaires avec des pistes doubles pour le revêtement simultané des deux côtés du panneau. Le processus PVD fait partie du processus SAP pour déposer une couche d'amorçage en cuivre (Cu) sur les matériaux diélectriques avant le placage de motifs. La plus petite configuration est le PlasmaLine R, qui est destiné à la recherche et à la production en faible volume de produits haute fréquence de nouvelle génération. La Plasma- Line M est un outil de production entièrement automatisé comprenant des modules de gravure au plasma et de dépôt par pulvérisation cathodique pour la fabrication en masse de cartes HDI+ et de substrats IC. Le faible coût de possession en fait une solution parfaite pour le traitement mSAP et SAP. Systèmes en ligne à haut débit et à faible taux de CoO Mise à l'échelle facile grâce à une conception de plateforme modulaire Traitement double face simultané Transport vertical sans contact Pas de dommages dus aux décharges électrostatiques Respect de l'environnement avec une faible consommation de gaz