Machine de gravure de wafers chimique

pour l'industrie de la microélectronique

Isolement de The Edge + cartels de système intégré gravure à l'eau-forte de PSG plusieurs étapes de processus dans un système avec la conception modulaire. D'une part la couche d'émetteur sur le rearside de la gaufrette produite pendant le procédé de diffusion est unilatéralement isolée dans la partie antérieure de la gaufrette afin d'empêcher le défaut de fonctionnement de la pile solaire. D'autre part le verre phosphoreux de silicate (PSG) est enlevé de la surface de gaufrette. Pendant l'isolement de bord que l'émetteur est protégé par le masque de l'eau s'est développé et a breveté par SCHMID. Les rouleaux de transport profilés spéciaux s'assurent que la chimie entre en contact exclusivement avec le rearside, et donc peu de chimie est consommée. Pour gravure à l'eau-forte du maintien spécial en verre de silicate de phosphore les axes sont utilisés au lieu des axes équipés des joints circulaires. Ceux-ci ne laissent pas des impressions sur les gaufrettes. En outre, le convoyeur modifié permet le nettoyage facile des axes. Par conséquent, la pollution organique des gaufrettes par le système de transport est exclue. Le rinçage entre les différentes étapes de processus assure l'entrave- minimum. La technologie multiple de la cascade de SCHMID réduit la consommation de DI water. Grâce à la conception modulaire du système intégré, de la sortie et des étapes de processus peut être adaptée aux besoins des clients. En outre, les processus de nettoyage spéciaux sont disponibles pour des cellules de PERC.