Équipement de revêtement physique en ligne pour le revêtement d'oxyde conducteur transparent (TCO) sur des plaquettes, des plaques de verre ou des substrats flexibles.
- Pulvérisation magnétron (PVD).
- Dépôt de plasma réactif (RPD).
- Opération à cathodes multiples pour la couche d'amorçage et le TCO tandem à indice de réfraction multiple.
- Pas de bombardement sur le substrat tout en conservant une grande mobilité.
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