Machine de dépôt PECVD PD-52 series

solaire

Principalement utilisé pour générer des revêtements antireflets de haute qualité dans la production de cellules solaires en silicium cristallin, et pour le dépôt d'un film de passivation sur la face arrière des cellules solaires. Bateau de graphite & plaquettes prêts→ Entrée d'azote→ Chargement du bateau de graphite dans→ Mise sous vide, test de pression → Pré-nettoyage et vérification de l'ammoniac→ Mise sous vide du tube, vérification de l'étanchéité, température constante→ Pré-revêtement → Revêtement→ Mise sous vide, test de pression→ Nettoyage du tube et entrée d'azote→ Déchargement du bateau de graphite. - Compatible avec le procédé SiOxNy PERC. - Technologie d'étanchéité des doubles brides d'eau de refroidissement. - Technologie de chauffage interne brevetée. - Mécanisme de poussée du bateau module intégral à haute vitesse. - Nacelle en graphite sans contact avec le tube de quartz. - Logiciel MES avec droit de propriété intellectuelle indépendant. - Système CCC développé de manière indépendante - Technologie de revêtement rapide. - Protection par alarme en cas de surchauffe, de rupture de thermocouple et de collision avec un bateau.