Système de manutention automatique SMZ-IV

modulaireen lignede wafer

Équipement en ligne, qui peut être intégré à un ou deux équipements PECVD à interface bateau-bateau et réaliser le transport du bateau en graphite et le chargement et le déchargement automatiques des plaquettes. Cet équipement peut être utilisé avant et après le processus PECVD. Il peut charger les plaquettes de la cassette dans le bateau en graphite et transporter le bateau rempli jusqu'à l'équipement PECVD ou transporter le bateau traité jusqu'à cet équipement et décharger automatiquement les plaquettes du bateau en graphite jusqu'à la cassette. - De conception modulaire, il peut être intégré en ligne avec un ou deux ensembles d'équipements PECVD. - Commande par PC, commande par tablette électronique, facile et claire à utiliser. - Détection en ligne des microfissures, détection de l'épaisseur du film, système d'inspection des couleurs et traitement automatique des plaquettes NG (moyennant des frais supplémentaires). - Configuration en ligne/hors ligne. - Compatible avec AGV, système RFID, fonction MES en option.