Purificateur de gaz au sol PS5 Series

à filtred'argon

Les épurateurs de gaz rare de PS5 MegaTorr sont les épurateurs basés sur acquéreur de chauffage conçus spécifiquement pour fournir le gaz ultra-haut d'hélium ou d'argon de la pureté (UHP) pour des applications de semi-conducteur. L'alliage breveté d'acquéreur fonctionne aux températures élevées pour enlever des impuretés en formant les liaisons chimiques irréversibles. Des impuretés enlevées ne seront pas libérées en toutes circonstances quand l'épurateur est actionné selon des spécifications. Des niveaux d'impureté de débouché pour l'O2, le H2O, la Co, le CO2, le H2, le CH4 (THC ou hydrocarbures totaux) et le N2 sont réduits aux parties par milliard de concentrations. Ces épurateurs sont conçus pour durer des années multiples, mais la vie dépend des concentrations d'impureté d'admission et du débit moyen. Veuillez entrer en contact avec l'usine pour des calculs de vie. Une fois que la colonne est consommée elle peut être remplacée par une nouvelle colonne, pour une nouvelle vie. En aval de les colonnes passionnées d'acquéreur, des impuretés d'hydrogène sont enlevées par une cartouche secondaire brevetée d'acquéreur de température ambiante, connue sous le nom d'unité d'enlèvement d'hydrogène (HRU).