Purificateur de gaz d'azote PS8 Series

au sol

Les purificateurs d'azote PS8 MegaTorr de Nitrogen sont des purificateurs améliorés et optimisés qui offrent des performances de sous-ppb dans de petites empreintes. SAES Pure Gas s'est appuyé sur des années d'expérience dans la conception de tuyauteries de très haute pureté (UHP), l'analyse avancée des matériaux de procédé et les systèmes de contrôle intégrés de pointe pour développer cette famille de purificateurs afin de répondre aux besoins de faible coût en capital, haute fiabilité et haute performance. La série PS8 utilise des procédés d'adsorption double conçus spécifiquement pour fournir un gaz de très haute pureté pour les applications semi-conductrices. Les niveaux d'impuretés de sortie pour le CO, le CO2, le H2, le H2O et le O2 sont réduits à des niveaux inférieurs à des parties par milliard (ppb).