Système de manutention automatique SYZ-VI-B

continuhorizontalvertical

Chargement et déchargement intégrés des plaquettes, déchargement des plaquettes de la barquette de quartz vers la cassette ou chargement des plaquettes de la cassette vers la barquette de quartz. Disponible pour les plaquettes doubles dos à dos dans une fente qui réalise une diffusion sur une seule face ou disponible pour une plaquette simple dans une fente pour une diffusion sur deux faces. Le chargement et le déchargement continus des wafers peuvent garantir une production continue ou être utilisés uniquement pour le chargement ou le déchargement des wafers. - Avec un élévateur importé à six axes pour charger/décharger et assurer une haute fiabilité de la prise et du placement des plaquettes ; - Avec un logiciel d'ordinateur principal basé sur IPC dans l'IHM, l'interaction des données à grande vitesse peut être réalisée par la communication en réseau. - Avec des composants de détection précis pour détecter la position dynamique du bateau de quartz pour rectifier le positionnement. - Avec un système de refroidissement avant le processus de déchargement, qui peut éviter tout effet nocif sur les plaquettes et l'équipement causé par une température élevée. - Le peigne, la pince adoptent une technologie de traitement spéciale qui réduit considérablement les marques sur les plaquettes - La cassette peut être verticale ou horizontale, le client peut choisir en fonction de ses besoins - Fonction MES, détection de la résistance de la feuille et AGV, en option.