Système de détection micro et nano CT
Tomographie tridimensionnelle
Fluoroscopie numérique à rayons X haute résolution en temps réel
Résolution jusqu'à 2,5μm
Taille maximale de l'échantillon : 150x150x150 (mm)
Poids maximal de l'échantillon : 5 kg
Paramètres clés
(1)Résolution : 0.6μm
(2)Maximum voltage : 160kv/190kv
(3)Précision de mesure : 3μm+L/75
Caractéristiques
(1)capacité de détection de CT submicronique
(2)Small parts
Principaux domaines d'application
(1)3C field;
(2)semiconducteurs;
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