Système universel d'imagerie radiographique microfoyer en ligne
Tube à rayons X : Détecteur de rayons X à réflexion : FPD
Système de mouvement : XYZθ Précision du mouvement : ±5(±30 arc sec)
Résolution spatiale : 3μm (2D) Précision de mesure : 10μm
Paramètres clés
(1)Résolution : 3μm
(2)Maximum voltage : 110kv
(3)Précision de mesure : 5μm+L/50
Principaux domaines d'application:
(1)3C champ;
(2)semiconducteur;
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