Système de micro-groupes entièrement automatisé pour les stations de traitement, par exemple
Décapage
Spin coater
Développeur
Décollage
Plaques chaudes, froides et d'apprêt
Cuisson UV
Taille max. de la gaufrette : Ø 6"~ Ø 8" ((Ø 150 ~ Ø 200 mm)
Taille maximale du substrat : 6" x 6" (150 mm x 150 mm)
Conception modulaire pour un maximum de 6 stations de traitement
---