Système d'automatisation de production RTA-PECVD-6000-16000

de procédé

Débit : 6000-16000 Taux de rupture : ≤0.04%@166 ; 0.04%@182 ; 0.04%@210 Temps de disponibilité : ≥99% Caractéristiques : Chargement et déchargement séparés ou intégrés en option Châssis en acier soudé segmenté, structure stable et fiable Élimination automatique des débris en option Interface MES et fonction de débogage à distance Interface IGV intelligente Équipement intelligent, statistiques OEE et analyse de la consommation d'énergie Compatible avec les wafers de M10, M12 et 220-230 mm, pleine taille et demi taille