Débit : 4000-9000
Taux de rupture : 0.04%@182 ; 0.05%@210
Temps de disponibilité : ≥99%
Caractéristiques :
Insertion de manipulateur Stäubli ou FANUC en option
Châssis en acier soudé segmenté, structure stable et fiable
Détection visuelle du gauchissement et positionnement du bateau en graphite en option
Interface MES et fonction de débogage à distance
Interface IGV intelligente
AOI en ligne et détection PL
Équipement intelligent, statistiques OEE et analyse de la consommation d'énergie
Compatible avec les wafers de M10, M12 et 220-230mm, pleine taille et demi taille
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