Système d'automatisation de production RTA-PE-4000-9000
de procédé

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Caractéristiques

Spécifications
de procédé, de production

Description

Débit : 4000-9000 Taux de rupture : 0.04%@182 ; 0.05%@210 Temps de disponibilité : ≥99% Caractéristiques : Insertion de manipulateur Stäubli ou FANUC en option Châssis en acier soudé segmenté, structure stable et fiable Détection visuelle du gauchissement et positionnement du bateau en graphite en option Interface MES et fonction de débogage à distance Interface IGV intelligente AOI en ligne et détection PL Équipement intelligent, statistiques OEE et analyse de la consommation d'énergie Compatible avec les wafers de M10, M12 et 220-230mm, pleine taille et demi taille

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