Spectromètre à fluorescence TXRF 3800e

de fluorescence X en réflexion totalede processcompact

TXRF 3800e L'analyse de TXRF peut mesurer la contamination dans tous les processus ouvriers, y compris le nettoyage, le litho, gravure à l'eau forte, l'incinèration, les films, etc. Le TXRF 3800e peut mesurer les éléments de S à U avec un système monocible, de double-poutre de rayon X et un nouveau système sans azote liquide de détecteur. Le TXRF 3800e inclut le brevet en instance de Rigaku le système d'étape témoin de X-Y-θ, un système de transfert robotique de gaufrette de dans-vide, et le nouveau logiciel convivial de fenêtres. Toute la ces derniers contribue à une sortie plus élevée, de grande précision et à une précision, et à une opération courante facile. Le logiciel facultatif du balayage TXRF permet à la cartographie de la distribution de contaminant au-dessus de la surface de gaufrette d'identifier « les points chauds » — mettre l'exclusion à zéro de bord. Toutes ces caractéristiques sont logées dans une nouvelle, compacte, et efficace conception. Access pour tous les travaux d'entretien est par les panneaux avant et arrière, ainsi l'autre équipement de cleanroom peut être placé à côté du TXRF 3800e. Ceci représente la grande épargne dans l'espace cher de cleanroom. Caractéristiques Facilité d'emploi et des résultats rapides d'analyse Accepte 200 millimètres et plus petites gaufrettes Coût bas de propriété Design compact, empreinte de pas Source scellée de tube à rayon X Éventail des éléments analytiques (S~U) Application pour découvrir le SI et aux substrats non-SI Capacité nulle de mesure de l'exclusion de bord (ZEE-TXRF) La mesure d'importation coordonne des outils d'inspection de défaut pour l'analyse complémentaire