Spectromètre à fluorescence TXRF-310

de fluorescence X en réflexion totalede processautomatisé

L'analyse de TXRF peut mesurer la contamination dans tous les processus ouvriers, y compris le nettoyage, le litho, gravure à l'eau forte, l'incinèration, les films, etc. Le TXRF-310 peut mesurer des éléments de Na par U avec un monocible, le système de rayon X de 3 poutres et un système sans azote liquide de détecteur. Le TXRF-310 inclut le système breveté d'étape témoin de XYθ de Rigaku, un système de transfert robotique de gaufrette de dans-vide, et le nouveau logiciel convivial de fenêtres. Toute la ces derniers contribue à une sortie plus élevée, de grande précision et à une précision, et à une opération courante facile. Le logiciel facultatif du balayage TXRF permet à la cartographie de la distribution de contaminant au-dessus de la surface de gaufrette d'identifier « les points chauds » qui peuvent être automatiquement remesurés à une plus haute précision. La capacité facultative de ZEE-TXRF surmonte l'exclusion historique de bord de 15mm des conceptions originales de TXRF, permettant à des mesures d'être faites avec l'exclusion zéro de bord. La capacité facultative de BAC-TXRF permet des mesures plein-automatisées du côté avant et du postérieur TXRF des gaufrettes de 300mm avec le basculement de non contact de gaufrette.