Spectromètre de masse AZX400

XRFWDXRFpour R&D

La technique WD (Wavelength-Dispersive (WD) XRF) permet une analyse élémentaire (composition et épaisseur de film) avec une haute résolution énergétique. Le Rigaku AZX 400 est un spectromètre WDXRF séquentiel spécialement conçu pour traiter des échantillons très grands et/ou lourds. Acceptant des échantillons jusqu'à 400 mm de diamètre, 50 mm d'épaisseur et 30 kg de masse, l'AZX 400 est idéal pour l'analyse de cibles de pulvérisation, de disques magnétiques ou pour la métrologie de films multicouches sur des plaques de silicium. L'AZX 400 est un système de recherche et développement idéal qui offre la plus grande flexibilité d'analyse couvrant la gamme d'éléments de Be à U avec des tailles de spot jusqu'à 0,5 mm de diamètre pour des mesures résolues dans l'espace (uniformité). La caméra vidéo et le système d'éclairage en option permettent de visualiser le point de mesure spécifique pour les applications QC ou FA. L'autochargeur de plaquettes en option permet de manipuler plusieurs plaquettes à partir d'une cassette FOUP de 300 mm ou ouverte de 200 mm. Caractéristiques Analyse de grands échantillons jusqu'à 400 mm (diamètre), 50 mm (épaisseur), 30 kg (masse) Système d'adaptateur d'échantillon flexible avec inserts (sur commande) Point de mesure 30 mm - 0,5 mm de diamètre avec sélection automatique en 5 étapes La capacité de cartographie permet de vérifier l'uniformité Usage général : capable d'analyser Be à U par WDXRF haute résolution et haute précision Large gamme de composition (ppm à dix pour cent) et d'épaisseur (inférieure à Å à mm) Le logiciel guide l'utilisateur dans l'installation de mesure et d'analyse Conformité SEMI S2 et S8 et marquage CE disponibles Faible encombrement : Empreinte au sol de 50 % par rapport à l'ancien modèle