Machine d'inspection à rayons X MFM310

pour wafershaute résolution

MFM310 Le Rigaku MFM310 effectue des mesures à haute précision non possibles par des techniques optiques ou ultrasoniques. Cet outil sophistiqué de métrologie de rayon X le rend pratique pour effectuer des mesures de haut-sortie sur le produit et les gaufrettes couvrantes s'étendant des films à une seule couche ultra-minces aux piles multicouche. Conçu pour la fabrication à fort débit Le MFM310 est conçu avec 200mm et 300mm à fort débit fabriquant à l'esprit : mesure d'épaisseur de haut-sortie par XRR et XRF, manipulation de gaufrette de bas-contamination et contrôle de position basé sur reconnaissance de modèle pour des mesures de gaufrette de produit, inscription de la CE et S2/S8 conformité pour l'opération de pièce propre de production de semi-conducteur, conformité aux tarifs normalisés de GEM-300/HSMS et d'automatisation industrielle, à la consommation de représentation de machine de haut-fiabilité et de puissance faible et la propriété. COLORS™ permettant la technologie Des optique de rayon X de COLORS™ ont été développées par Rigaku pour que le MFM310 permette des mesures de petits secteurs. Les COULEURS rayonnent des couples de modules un grand choix de sources d'excitation de XRF avec des optique et sont optimisées pour fournir l'intense luminosité dans de petites taches pour un grand choix d'applications de la couche mince. Avec ses propres affaires d'optique de rayon X, Rigaku est bien placé se développent et fabriquer des sources de rayon X pour les besoins de courant et de marché d'avenir. Caractéristiques faisceaux de rayons X de Micro-tache et reconnaissance des structures Haut-sortie, mesures de produit-gaufrette Éventail de matériaux et d'applications Haute résolution et précision couvrant des épaisseurs de Ångstroms aux microns Pour des gaufrettes de 200mm et de 300mm Disponible avec l'automatisation industrielle de 300mm Conception basée sur SEMI S2 et SEMI S8