Spectromètre à fluorescence WDA-3650

WDXRFde processautomatisé

WDA-3650 Le spectromètre de fluorescence du rayon X WDA-3650 pour l'évaluation de la couche mince continue l'histoire de 30 ans de Rigaku des analyseurs de gaufrette de XRF qui a reflété l'histoire du développement de dispositif de la couche mince. Ce dernier outil de métrologie de XRF contribue de manière significative à l'à régulation de processus de l'épaisseur, de la composition de film, et de la concentration de film métallique d'élément avec de nouvelles fonctions et une conception bas-COO. Outil de XRF pour des gaufrettes de 200mm Un outil souple et fiable 200 millimètres et de plus petites gaufrettes, le WDA-3650 incorpore notre système d'étape témoin de X-Y-θ de marque déposée pour des résultats supérieurs sur des mesures difficiles, telles que les films ferrodielectric. Les canaux multiples permettent la mesure simultanée des éléments multiples d'intérêt pour la sortie élevée. La résolution de haute énergie de ce système longueur d'onde-dispersif de XRF, comparée aux systèmes énergie-dispersifs de XRF, est particulièrement utile pour réduire au minimum le chevauchement maximal quand les crêtes d'élément sont étroitementes aligné. Mesure supérieure du bore (b) Pour des applications de bore, le canal disponible d'Annonce-bore fournit une 5 fois plus grande sensibilité que les modèles précédents. La fonction d'AutoCal et le stockiste interne intégré de gaufrette, précédemment seulement disponibles sur des outils de 300mm, permettent la qualification d'outil et le calibrage quotidiens plein-automatisés d'intensité. Conception efficace compacte Le WDA-3650 est extrêmement compact avec l'unité de base exigeant moins de 1 m2 de l'espace précieux de cleanroom, et il n'y a aucun besoin d'accès latéral de service de maintenance. La puissance a été réduite plus de 20% comparé au modèle précédent.