Sécheur d'isopropanol VaporDry

batchde rinçagede nettoyage

Le RENA VaporDryer intègre le processus de séchage de l'IPA avec le nettoyage et le rinçage pour fournir un processus en une seule étape. Il s'agit d'une solution idéale pour déplacer l'eau des caractéristiques à haut rapport d'aspect et des trous de silicium traversants (TSV), ainsi que pour le séchage efficace des surfaces complexes. VaporDry peut être intégré dans les plateformes d'immersion par lots de RENA. Ce sécheur peut être utilisé pour les applications FEoL et BEoL. L'ensemble du processus est surveillé et contrôlé par le logiciel avancé de contrôle de processus IDX Flexware de RENA. Caractéristiques et avantages Coût inférieur à celui des sécheurs Marangoni réduction de 85 % de la consommation d'IPA par rapport aux sécheurs de vapeur à carter d'ébullition Performances robustes, fiables et éprouvées sur le terrain Performance exceptionnelle en matière de particules ( 750 µm de profondeur) Faible encombrement