Banc humide à immersion Advancer

batchpour semi-conducteurpour wafers

Pour le traitement humide en une seule étape des plaquettes de semi-conducteurs, RENA propose la famille semi-automatique "Advancer". Ces équipements d'immersion sont robustes, éprouvés sur le terrain et hautement configurables avec un encombrement remarquablement faible. les "Advancers" constituent une solution idéale pour les processus de gravure, de nettoyage et de décapage des surfaces de semi-conducteurs en une seule étape. La famille "Advancer" se compose de trois plates-formes : Micro, Classic et Gemini. L'"Advancer Micro" et l'"Advancer Classic" possèdent une cuve de traitement et une cuve de rinçage avec un robot linéaire à paroi latérale pour les processus en une seule étape. L'"Advancer Gemini" est un banc humide à deux processus et à deux robots, et l'une des plates-formes les plus rentables disponibles. L'"Advancer Gemini" peut être utilisé soit pour doubler la capacité de traitement, soit pour réaliser des étapes de traitement séquentielles avec un encombrement et un coût globaux réduits. Les systèmes RENA permettent un contrôle et une surveillance exceptionnels des processus à l'aide du logiciel IDX Flexware qui offre des caractéristiques et des capacités avantageuses. Tous les systèmes RENA sont faciles à entretenir et conformes à l'interface SECS/GEM de l'usine hôte. Caractéristiques et avantages Capacité de séchage à sec Processus en une seule étape et conception du rinçage Manipulation de cassettes simples ou doubles plaquettes de 50 à 200 mm traitement de 150 et 200 mm sans changement Logiciel de contrôle de processus IDX Flexware Écran tactile HMI intuitif Robot latéral très facile à entretenir Options d'interface SECS/GEM Flexible et évolutif Adapté aux spécifications du client