Banc humide à immersion Evolution

batchautomatisépour semi-conducteur

Evolution - banc humide entièrement automatisé pour la fabrication de semi-conducteurs de type sec à sec Pour le traitement humide à haut débit des plaquettes de semi-conducteurs, RENA propose l'"Evolution", un banc humide linéaire entièrement automatisé. De multiples processus de traitement de surface tels que le nettoyage, la gravure, le décapage des réserves et le séchage peuvent être réalisés à l'aide de l'"Evolution". Cette station chimique a une conception modulaire flexible avec un robot de transfert robuste et peut être personnalisée en fonction de vos séquences de processus spécifiques. L'"Evolution" permet le traitement par lots de plaquettes simultanées ainsi que le traitement sec à sec. Les principales caractéristiques de cette plate-forme sont un rendement de production élevé, un faible coût d'exploitation et un contrôle exceptionnel des processus. Ce contrôle supérieur des processus est assuré par le logiciel IDX Flexware, l'un des plus avancés de l'industrie des semi-conducteurs avec des caractéristiques et des capacités uniques. Des cuves de traitement spécialisées telles que TruEtch, FluidJet et SiEtch, des cuves à ultrasons et à mégasons ainsi que le séchoir breveté Genesis Marangoni peuvent être intégrés dans "Evolution" pour répondre aux spécifications de traitement des clients. Tous les systèmes RENA sont conformes à l'interface SECS/GEM de l'usine hôte. Caractéristiques et avantages Fonctionnement entièrement automatique, de sec à sec taille des plaquettes de 100 mm à 200 mm lots de 25, 50 et 100 gaufrettes Logiciel de contrôle IDX Flexware Lots et recettes simultanés Surveillance avancée du processus Écran tactile IHM intégré Options d'interface SECS/GEM Mini-environnement de classe 1 Version en acier inoxydable pour les applications de solvants Flexible et évolutif Adapté aux spécifications du client Augmentation du temps de fonctionnement et du débit Prolongation de la durée de vie des produits chimiques et des réservoirs