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Système de nettoyage pour wafers à eauautomatiquepour l'industrie des semi-conducteurs
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Caractéristiques
- Technologie
- à eau
- Mode de fonctionnement
- automatique
- Applications
- pour l'industrie des semi-conducteurs, pour wafers
Description
Des gaufres propres sont la base d'excellents produits semi-conducteurs. Le système de nettoyage final RENA, entièrement automatisé, permet d'obtenir des surfaces de la plus haute qualité pour la dernière étape de la fabrication des gaufrettes. Des processus sophistiqués et une programmation avancée en font la solution parfaite pour la production de plaquettes de semi-conducteurs avec un débit élevé et des exigences élevées.
Caractéristiques et avantages
Propreté de surface supérieure pour les plaquettes jusqu'à 300 mm
Manipulation entièrement automatisée sans support ou avec support LMC
Finition parfaite avec le sécheur RENA Marangoni
Interfaces SEMI standard pour une intégration facile dans l'usine
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.