Le système de nettoyage post-polissage humide à sec PCS élimine les particules et la contamination et crée des surfaces de gaufrettes parfaitement propres. L'outil traite des gaufrettes d'un diamètre allant jusqu'à 300 mm. Qu'il s'agisse d'une installation à pas complet ou à demi-pas, d'une manipulation avec ou sans support, la machine s'adapte à vos besoins et s'intègre parfaitement à votre usine.
Caractéristiques et avantages
Intégration d'un chariot d'entrée humide
Propreté de surface exceptionnelle
Manipulation sans chariot
Processus à demi-pas en option
Surveillance avancée du processus
Transport de plusieurs wafers vers le port de chargement de l'OHT
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