Système de récupération de gaz ArgonØ ™

à aspiration

L'ArgonØ ™ recycle le gaz en boucle fermée à partir d'un nombre limité d'outils de traitement, ce qui présente le grand avantage, par rapport à des installations potentielles à l'échelle de l'usine, de permettre une adaptation facile et directe dans des usines de fabrication de plaquettes existantes, ainsi qu'une installation progressive, en fonction des outils de traitement, dans de nouvelles installations " de base ". L'ArgonØ ™ recycle >95% des gaz d'échappement du four dans le processus à des niveaux de pureté qui dépassent les exigences du Semi PV6-1110, éliminant des milliers de ppm de contamination dans le processus. L'ArgonØ ™ est conçu pour récupérer, purifier et recycler les gaz de purge des fours à vide, à la fois CZ et DS, utilisés pour la croissance des lingots de silicium pour la fabrication ultérieure de cellules solaires cristallines. Le système s'adapte de manière unique aux pompes à vide sèches et étanches à l'huile, utilisées pour évacuer les fours, et utilise une technologie développée conjointement avec l'université de Cambridge qui permet des taux de recyclage d'au moins 95 %. La pureté du gaz Argon recyclé dépasse la norme SEMI PV6-1110. Le système est un point d'utilisation et peut se connecter à plusieurs fours à vide, sous réserve d'une limite maximale de flux de recyclage d'environ 15 Nm3/h, ce qui permet une adaptation simple aux fours à vide actuels ainsi qu'une installation progressive, en ligne avec l'installation des fours à vide, dans les nouveaux établissements. Avec un retour sur investissement (ROI) de 2 à 3 ans, l'ArgonØ ™ représente un excellent rapport qualité-prix et lorsque l'hélium est également recyclé, le ROI s'améliore encore pour atteindre 6 à 12 mois. En outre, l'ArgonØ ™ réduit l'empreinte CO2 d'un four à vide typique de 3 à 5 tonnes par an, tout en améliorant la sécurité de l'approvisionnement.