Capteur de position linéaire

sans contactlaseroptique

Le Pinpoint de Prodrive Technology offre une solution de mesure de position de haute précision pour les systèmes de mouvement précis. Le Pinpoint est idéal pour les étages (sous vide) où une grande fiabilité et une longue disponibilité sont importantes. Notre solution offre une synchronisation de latence inférieure à la nanoseconde et une mesure de position absolue. Nous y associons des options d'intégration numérique sans compromis pour une synchronisation transparente entre le système de mesure et le système de contrôle du mouvement. L'expertise optique de Prodrive fournit des solutions d'interféromètres innovantes axées sur la réduction du TCO (coût total de possession) pour nos partenaires équipementiers OEM ; réduction du coût direct des systèmes, tout en offrant des coûts d'exploitation et de maintenance réduits. Depuis plus de deux décennies, Prodrive Technologies est un partenaire de recherche, de développement et de production pour l'industrie des semi-conducteurs. En combinant cette expérience avec notre système de gestion de la qualité robuste, nous comprenons ce qu'il faut pour mettre en œuvre le contrôle de la copie exacte et des changements, en soutenant nos solutions du concept à la fin de vie et au-delà. Nombre d'axes de capteurs par MU - 1 - 6 Distance de travail - 0 - 6000 mm Vitesse de la cible - 0 - 1 m/s Résolution du capteur - 25 pm Répétabilité du capteur - 200 pm (dans des conditions de vide) Bande passante de mesure par axe - 40 MHz (optique) 5 MHz (sortie numérique) Stabilité du signal (2,5s) - 0,1nm Dérive thermique - < 50nm / C Modes et caractéristiques de mesure Mode par défaut - Déplacement relatif à une seule extrémité Mesure différentielle - Inclus Logiciel de fonction d'orientation - Inclus Mesure de distance absolue - Inclus ; 20s Alignement du capteur - Manuel sur la tête du capteur Alignement de la cible - Laser visible (600nm)