Analyseur de gaz TIGER OPTICS™ T-I MAX™

d'hydrogènede chlorurede surveillance

ANALYSEUR DE TRACES DE CHLORURE D'HYDROGÈNE DE NOUVELLE GÉNÉRATION Vous pouvez passer beaucoup de temps à " chercher " des contaminants moléculaires aéroportés (AMC) lorsque la performance catastrophique du produit ou la perte de rendement est découverte à l'étape du test final de votre dispositif ; ou vous pouvez déployer notre analyseur TIGER OPTICS™ T-I Max™ HCl pour localiser et surveiller ces générateurs de défauts invisibles, que l'on trouve généralement tapis dans et autour de l'équipement, du personnel, des porteuses de plaquettes et des baies de salle blanche. Dans le traitement avancé des semi-conducteurs d'aujourd'hui, les gaz résiduels, les vapeurs et les produits chimiques émanant des différents matériaux, des opérations de traitement accéléré, ainsi que du stockage et du transport des substrats, sont devenus une préoccupation essentielle. À tel point que la feuille de route technologique internationale pour les semi-conducteurs (ITRS) met désormais en évidence la contamination AMC comme un défi technique clé pour atteindre et maintenir de faibles taux de défauts sur les dispositifs. Les analyseurs de HCl T-I Max, basés sur notre nouvelle plate-forme mondiale, se concentrent particulièrement sur les principaux éléments contribuant à la "contamination chimique" des AMC. Ils peuvent détecter et contrôler en continu le HCl avec une combinaison sans précédent de sensibilité, de sélectivité et de rapidité de réponse. Notre GO-cart pour les AMC ajoute une flexibilité supplémentaire en fournissant une plate-forme mobile qui peut être déplacée rapidement vers différents points de surveillance critiques. AVANTAGES Technique de mesure sensible et absolue utilisant la spectroscopie par anneau de cavité (CRDS) Vitesse de réponse et limites de détection en parties par billion considérablement améliorées Sans dérive, avec un étalonnage traçable par les plus grands laboratoires de référence au monde Coût de possession le plus bas - sans entretien