Analyseur CO VeraSpec™ APIMS-SX5

de gazCH4d'eau

Les fabricants de semi-conducteurs doivent pouvoir vérifier en permanence la pureté des gaz de traitement en temps réel et détecter les traces de contamination à des concentrations de l'ordre de quelques parties par billion (ppt). Surveillez une large gamme de gaz et de mélanges de gaz avec la stabilité qui fournit la répétabilité à long terme requise dans la plupart des applications. Renseignez-vous sur notre APIMS SX5 avec commutateur de flux. -Commutation de flux élégante pour la surveillance des gaz en vrac de très haute pureté Surveillance multi-espèces en temps réel pour TOUTES les impuretés critiques dans les gaz électroniques en vrac, y compris les traces de métaux Impuretés dans les gaz électroniques en vrac, y compris les traces d'O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, N2, Ar, etc - NOUVEAU ! Capacité optionnelle de commutation automatisée des flux avec l'armoire à gaz de commutation de flux SX5. Passez automatiquement d'un gaz en vrac à l'autre (jusqu'à cinq) ! - Plage de mesure inégalée de PPT à 100 % grâce à une configuration unique d'ionisation à double source - Facile à utiliser grâce à l'interface utilisateur intégrée et aux étalonnages automatisés programmés - Support client et équipe d'application les plus performants de l'industrie