Analyseur d'oxygène EXTREL™ VeraSpec™ APIMS

COCH4d'eau

Notre spectromètre de masse à ionisation sous pression atmosphérique EXTREL™ VeraSpec™ (APIMS) est conçu pour des limites de détection fiables et reproductibles de faibles parties par billion pour le contrôle de la contamination dans les gaz ultra-haute pureté (UHP) utilisés dans les semi-conducteurs et d'autres applications industrielles de haute technologie. La contamination est coûteuse et, depuis plus de 20 ans, l'APIMS est la norme industrielle et de recherche pour la détection en ligne des composants de faible niveau dans les mélanges gazeux. Notre APIMS VeraSpec utilise un filtre de masse quadripolaire tri-filtre de 19 mm pour l'analyse des gaz des semi-conducteurs, ce qui garantit des performances, une fiabilité et un temps de fonctionnement optimaux. Limites de détection inférieures (LDL) les plus basses de l'industrie pour l'analyse des gaz en vrac Surveillance multi-espèces en temps réel de TOUTES les impuretés critiques dans les gaz en vrac, y compris les traces d'O2, H2, H2O, CH4, CO, CO2, Xe, etc Technologie de spectrométrie de masse puissante et bien établie Plage de mesure inégalée de PPT à 100 % grâce à une configuration unique d'ionisation à double source Les fabricants de semi-conducteurs doivent pouvoir vérifier en permanence la pureté des gaz de traitement en temps réel et détecter les traces de contamination à des concentrations de l'ordre de quelques parties par billion (ppt). Surveillez une large gamme de gaz et de mélanges de gaz avec la stabilité qui fournit la répétabilité à long terme requise dans la plupart des applications. Renseignez-vous sur notre APIMS SX5 avec commutateur de flux.