Le scanner combine système optique et système de mouvement. Deux miroirs rotatifs installés dans la tête du scanner dévient le faisceau en direction X et Y. La masse déplacée avec les miroirs étant faible, on peut atteindre des vitesses de plusieurs mètres par seconde et donc un processus quasiment simultané. C’est de la lentille de sortie (lentille f-theta) que dépend la taille du champ de scannage, qui peut avoir une surface de 100 x 100 mm, 240 x 240 mm ou 350 x 350 mm.