Scanner de mesure FSS 310

pour inspectionoptiqueà grande vitesse

Le Flying Spot Scanner (FSS) 310 combine de manière unique l'OCT et le balayage avec un large champ de mesure, et il résout le problème des systèmes de mesure ultra-précis qui sont normalement très lents et extrêmement coûteux. Le FSS 310 dispose d'un point de mesure à trajectoire programmable et rapide dans le champ de mesure qui permet une inspection du ROI (Region Of Interest) dans des temps de cycle ultra-courts - sans compromettre la précision. Ce scanner mesure la variation totale de l'épaisseur (TTV), la courbure (bow), la déformation (warp) et d'un wafer 12 pouces en un seul scan. Avantages • Haute cadence, Inspection sans contact de région d'intérêt (ROI) Avec une large zone de scan de 310mm, le FSS 310 mesure et inspecte un wafer de 12 pouces pour mesurer une valeur de TTV (épaisseur), la courbure (bow), la déformation (warp) en moins de 10 secondes, ce qui permet un débit de plus de 300 wafers par heure (temps de manipulation compris). Grâce au système de scanning intégré, les longues trajectoires des axes linéaires sont remplacées par de courts mouvements rotatifs, ce qui réduit considérablement les temps de mesure et supprime la nécessité d'un axe de déplacement de précision. • Facile à utiliser Le FSS 310 et le capteur optique CHRocodile 2 IT forment un ensemble autonome qui s'intègre facilement dans les systèmes en ligne et hors ligne. Une seule connexion au contrôleur CHRocodile 2 IT est nécessaire pour effectuer une procédure de trajectoires personnalisées avec le FSS 310. De multiples interfaces et outils logiciels vous permettent de configurer facilement votre application.