Filtre à gaz GasPro ™ TEM-2260 series

à cartouchede processen acier inoxydable

Lancement d'un nouveau produit : GasPro ™ TEM-2260 Filtre en ligne à haut débit en PTFE 316L GasPro ™ Les filtres de la série TEM-2260 sont spécialement conçus pour la filtration des gaz semi-conducteurs lorsque des débits ultra-élevés sont requis. Cet ensemble entièrement soudé assure une rétention des particules de 0,003 micron lorsqu'un débit élevé est nécessaire et que l'espace est limité. Une membrane en PTFE et une cartouche supportée par du polypropylène sont enfermées dans un boîtier soudé en acier inoxydable 316L électropoli. L'assemblage final est purgé avec de l'azote filtré pour la propreté initiale. Les demandes comprennent : - Gaz d'installations générales et de procédés inertes. - Air propre et sec (CDA*) pour les processus critiques, y compris le nettoyage des nacelles unifiées à ouverture frontale (FOUP) et la photolithographie. Consultez la fiche technique pour plus d'informations.