« Les produits restrictifs d'écoulement (RFP) sont les orifices restrictifs d'écoulement avec une ouverture simple ou les passages calibrés d'écoulement agglomérés en métal avec des centaines de petit, micron ont classé des passages. Ce sont écoulement limitant des dispositifs utilisés pour empêcher un écoulement incontrôlé des gaz de processus de semi-conducteur de grande pureté.
L'écoulement limitant des dispositifs sont installés dans les systèmes comprimés d'approvisionnement en gaz ou dans des tubulures de distribution de gaz pour commander une transitoire élevée d'écoulement de gaz. L'écoulement élevé involontaire de gaz peut être provoqué par la rupture d'une ligne d'approvisionnement en gaz, d'une valve de défaut de fonctionnement ou de l'échec d'un régulateur de pression.
Notre Sinterflo® a aggloméré des passages calibrés d'écoulement en métal sont fortement fiable, coût bas, les pièces de contrôle de flux qui fourniront un retour sur l'investissement rapide pour une étendue des applications. Ceux-ci peuvent être fabriqués de l'acier inoxydable 316L, du nickel, du Hastelloy® C22, du Hastelloy® C276 et d'autres matériaux du température et anticorrosion.
Industrie de semi-conducteur, bâtiment et conformité de code incendie
Les RFP peuvent aider à l'acquiescement SEMI aux directives de sécurité S5-0310 pour classer et identifier l'écoulement limitant les dispositifs pour des valves de cylindre de gaz, norme de NFPA 318 pour la protection des équipements de fabrication de semi-conducteur, du stockage de CGA G-13 et de la manipulation du silane et de toute autre sécurité de gaz standards. \ /html »
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