Microscope optique MSA-100-3D

pour MEMS3Dde petite dimension

Mesurer en 3D et en temps réel des vibrations sur des microstructures et MEMS Les vibrations d'objets sont généralement tridimensionnelles. Elles peuvent présenter des directions préférentielles mais les tolérances de fabrication et d'autres influences entraînent des composantes de mouvement dans d'autres directions spatiales. L'analyseur de microstructures 3D MSA-100 permet d'analyser le comportement dynamique de vos objets intégralement, à large bande et en temps réel. Les composantes de vibrations dans les trois directions spatiales sont saisies simultanément et en haute résolution pour ensuite être analysées comme un ensemble de données intégrées. Vous obtenez la résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre classique, indépendamment de la direction vibratoires. Mesure vibratoire en temps réel avec large bande passante allant jusqu'à 25 MHz Résolution d'amplitude de l'ordre du sous-picomètre pour des mouvements hors plan et dans le plan Mesures monopoint sur surface complète Un petit point laser < 4 μm permet une haute résolution latérale Grandes distances de travail allant jusqu'à 38 mm Compatible avec des stations de diagnostic MEMS courantes