Microscope optique MSA-600

de mesurepour MEMStemps réel

Caractérisation dynamique 3D et mesure de topographie des MEMS La topographie de surface, l'analyse et la visualisation des comportements dynamiques sont essentielles pour tester et développer des microstructures telles que les dispositifs MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Elles sont indispensables pour valider les calculs FE et mesurer la déformation de la surface. L’analyseur de microstructures MSA-600, station de mesure optique tout-en-un, permet de caractériser la topographie de surface ainsi que les mouvements dans le plan et hors plan. Les versions MSA-600-M/V couvrent les gammes de fréquences jusqu'à 25 MHz, idéales pour les MEMS comme les microphones MEMS et autres microsystèmes. Les versions MSA-600-X/U couvrent la gamme des hautes et très hautes fréquences jusqu'à 2,5 GHz, parfaite pour la validation des résonateurs MEMS HF, des dispositifs micro-acoustiques tels que SAW, BAW et autres. NOUVEAU: Le MSA-600-S est la station de mesure optique spécialement conçue pour l'analyse des vibrations en temps réel à 6 GHz et l'analyse de la topographie de surface. Elle est idéale pour tester les MEMS à GHz comme les FBAR (résonateurs acoustiques à film), les filtres BAW (bulk acoustic wave) et les dispositifs SAW (surface acoustic wave).