Système de mesure de vibration MSA-650 IRIS

optique

Caractérisation optique de la dynamique sur les MEMS encapsulés Système d'analyse vibratoire et modale des MEMS encapsulés, Polytec propose son nouvel analyseur de microsystèmes : MSA-650 IRIS. Les analyseurs de microsystèmes MSA Polytec fournissent des mesures optiques rapides et précises des mouvements hors plan (OOP) et dans le plan (IP). Jusqu'à présent, cela a été limité aux composants déballés qui sont optiquement accessibles. Il permet d'effectuer des mesures sur des microstructures comme des centrales inertielles, microphones MEMS, capteurs de pression et plus encore, au-travers des capsules silicium sans modification de votre pièce à mesurer. Mesure à travers différentes couches de silicium Mesure de réponse hors plan en temps réel jusqu'à 25 MHz (sans post-traitement) Résolution de déplacement hors plan sous-picométrique Validation simple du modèle FE de MEMS à l'état final Séparation supérieure des couches individuelles de l'appareil Microscope vidéo stroboscopique pour mesurer le mouvement dans le plan jusqu'à 2,5 MHz Système automatisé intégrable pour contrôle en production