Machine de dépôt PVD Pi1511

Le Pi1511 est une unité de revêtement PVD à grand volume. Elle combine trois cathodes rotatives PLATIT LARC® XL dans la porte et deux cathodes à arc planaire à l'arrière de la chambre. La combinaison de cathodes rondes et de cathodes planaires à haute performance permet de déposer des revêtements PLATIT Signature sélectionnés avec la flexibilité habituelle. Les cathodes LARC® XL ont un temps de fonctionnement très long et garantissent ainsi une productivité élevée avec un faible coût par revêtement. Technologie 3 cathodes LARC® XL (LAteral Rotating XL Cathode) dans la porte 2 cathodes planaires à l'arrière pour le revêtement à l'arc MAC-3C (Magnetic Arc Confinement - Coil Current Compensation) pour l'ajustement automatisé du champ magnétique Changement rapide de cathode Dépôt de revêtements PLATIT Signature sélectionnés Procédés de gravure Plusieurs technologies de gravure peuvent être utilisées avec l'unité de revêtement PLATIT Pi1511, offrant divers avantages : LGD® (Lateral Glow Discharge) Gravure au plasma avec argon, décharge luminescente Gravure par ions métalliques (Ti, Cr) Charge et durée des cycles Volume de revêtement : max. ø715 x H805mm Hauteur de revêtement avec épaisseur de revêtement définie : max. 711 mm Charge : max. 750kg, poids supérieur sur demande Lots/jour : 3 Systèmes de carrousels modulaires 1-12 axes Logiciel Logiciel PLATIT SmartSoftware (système PC et PLC) Facilité d'utilisation et de maintenance Interface utilisateur moderne avec navigation par menu sur écran tactile Visualisation du processus en temps réel, y compris l'enregistrement et la gestion des données Contrôle manuel et automatique du processus Possibilité de diagnostic et de maintenance à distance