Système d'application de revêtement sous vide

Un système multi-chambres actionné par un robot pour les processus de revêtement les plus complexes dans un environnement à basse pression. Dimensions : - L : 2000mm W : 1800mm H : 2000mm Poids : - ~ 320 KG Volume : - 50 litres 3 chambres de traitement : - VA L:300 L:300 H:300 Source plasma : - 2,45 GHz, 1200 Watt / 13,56 MHz, 600 Watt Inclus : - 3x3 canaux de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement) En plus : - robot de sas, exemple de support de substrat pour sas Porte-substrat (en option) : - Aluminium, conception personnalisée possible Raccordement au vide : - DN 63 ISO-KF Purge : - électrovanne électromagnétique 3 Systèmes de pompage : - 40m³/h Porte de la chambre : - Portes de chambre de maintenance