Système d'application de revêtement sous vide 3000 RR

Développé pour les applications qui doivent être exécutées dans des salles blanches. Assemblage modulaire et tailles de chambre variables. Nombreuses options comme des plateaux tournants ou différents supports pour les substrats. Le chargement de la chambre de traitement s'effectue depuis la salle blanche. Déchargement par la porte du sas dans la salle grise. Dimensions : - L : 2095mm W : 800 H : 1450mm Poids : - ~ 300 KG Volume : - 140 / 200 / 300 litres Chambre de traitement : - 500mm Ø H : 700mm (140 Liter), 600mm Ø / H : 700mm (200 Liter), 700mm Ø, H : 800mm (300 Liter) Source plasma : - 2,45GHz, 1200 Watt Inclus dans le prix : - 1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux possibles Système de refroidissement : - 8 litres (Cool-trap électromécanique) Raccordement au vide : - DIN 40 ISO-KF Mise à l'air : - électrovanne électromagnétique Système de pompe : - 75m³/h Raccordement électrique : - 3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW