Il s'agit du système Parylene. C'est un système modulaire divisé en deux parties : le module chambre et le module évaporateur.
Dimensions : -
L : 2600mm W : 960 H : 1460mm
Poids : -
~ 450 KG
Volume : -
800 / 1000 litres
Chambre de traitement : -
1150mm Ø H : 600mm (800 litres), 1000mm Ø H : 1100
Source plasma : -
2,45GHz, 1200 Watt
Inclus : -
1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux possibles
Système de refroidissement : -
8 litres (Cool-trap électromécanique)
Raccordement au vide : -
DIN 63 ISO-KF
Mise à l'air : -
électrovanne électromagnétique
Système de pompe : -
75m³/h
Raccordement électrique : -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
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