Il s'agit du système Parylene. Il s'agit d'un système modulaire divisé en deux parties : le module chambre et le module évaporateur.
Dimensions : -
L : 2400mm W : 960 H : 1460mm
Poids : -
~ 350 KG
Volume : -
600 / 700 litres
Chambre de traitement : -
800mm Ø H : 1100mm (600 Liter) / 1300mm (700 Liter)
Source plasma : -
2,45GHz, 1200 Watt
Inclus : -
1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux possibles
Système de refroidissement : -
8 litres (Cool-trap électromécanique)
Raccordement au vide : -
DIN 63 ISO-KF
Mise à l'air : -
électrovanne électromagnétique
Système de pompe : -
75m³/h
Raccordement électrique : -
3/N/PE AC 50Hz 400 V / 240 V, max. 8.5 KW
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