Le plus grand système de notre série Q. Parfait pour les tranches multiples d'un diamètre allant jusqu'à 200 mm.
Dimensions : -
L : 760mm L : 775mm H : 775mm
Poids : -
100 KG
Volume : -
20 litres
Chambre de traitement : -
verre de quartz, 240mm Ø, B : 450mm
Sortie micro-ondes : -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Inclus : -
1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux disponibles
Porte-substrat (en option) : -
aluminium, conception personnalisée possible
Raccordement au vide : -
DN 40 ISO-KF
Purge : -
électrovanne électromagnétique
Système de pompe : -
jusqu'à 40m³/h
Porte de la chambre : -
vous pouvez choisir entre une porte à charnières avec hublot et une porte à tiroirs avec tiges de support fixées
Taille des plaquettes : -
jusqu'à 200mm, à un nombre de 50 wafers
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