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Système d'enduction Q 240

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Description

Le plus grand système de notre série Q. Parfait pour les tranches multiples d'un diamètre allant jusqu'à 200 mm. Dimensions : - L : 760mm L : 775mm H : 775mm Poids : - 100 KG Volume : - 20 litres Chambre de traitement : - verre de quartz, 240mm Ø, B : 450mm Sortie micro-ondes : - 2,45 GHz / 50 - 1200 Watt Inclus : - 1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux disponibles Porte-substrat (en option) : - aluminium, conception personnalisée possible Raccordement au vide : - DN 40 ISO-KF Purge : - électrovanne électromagnétique Système de pompe : - jusqu'à 40m³/h Porte de la chambre : - vous pouvez choisir entre une porte à charnières avec hublot et une porte à tiroirs avec tiges de support fixées Taille des plaquettes : - jusqu'à 200mm, à un nombre de 50 wafers

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.