Facile à utiliser et simple à charger. Notre série Q permet un traitement plasma rapide et fiable.
Dimensions : -
L : 500mm W : 550mm H : 370mm
Poids : -
40 KG
Volume : -
4 litres
Chambre de traitement : -
Quarzglas, 150mm Ø, B : 244mm
Sortie micro-ondes : -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Inclus : -
1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux disponibles
Porte-substrat (en option) : -
aluminium, conception personnalisée possible
Raccordement au vide : -
DN 25 ISO-KF
Purge : -
électrovanne électromagnétique
Système de pompe : -
jusqu'à 25m³/h
Porte de la chambre : -
vous pouvez choisir entre une porte à charnières avec hublot et une porte à tiroirs avec tiges de support attachées
Taille des plaquettes : -
jusqu'à 125mm, à un nombre de 25 plaquettes
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