Le Q correspond aux chambres en verre de quartz.
Les équipements plasma de la série Q sont principalement utilisés dans la technologie des semi-conducteurs et dans le domaine de l'analyse et de la technologie médicale.
Exemples d'application : Nettoyage et incinération d'échantillons organiques et de vernis en micro-mécanique ainsi que pour les plaquettes de silicium dans l'industrie des semi-conducteurs.
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