la taille des substrats ou la vitesse du processus nécessaire.
Dimensions : -
L : 1050mm W : 800mm H : 2020mm
Poids : -
195 KG
Volume : -
140/160/300 litres
Chambre de traitement : -
aluminium, L : 400mm L : 480mm H : 520mm
Sortie micro-ondes : -
2,45 GHz / 50 - 1200 Watt
Inclus : -
1 canal de gaz (système de distribution de gaz à l'intérieur de la chambre de traitement), jusqu'à 3 canaux disponibles
Porte-substrat (en option) : -
aluminium, conception personnalisée possible
Raccordement au vide : -
DN 63 ISO-KF
Purge : -
électrovanne électromagnétique
Système de pompe : -
jusqu'à 250m³/h (intégré)
Porte de la chambre : -
vous pouvez choisir entre le type à charnière avec hublot, la porte à tiroir ou la porte universelle
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