- Plate-forme de mouvement de 365 mm de diamètre, ouverture de 260 mm de diamètre
- Excentricité et planéité < 300 nm
Les platines rotatives planes à entraînement direct de la série PIglide RLA sont conçues pour la plus haute précision. Ils ont un profil bas et une grande ouverture. Les platines RLA offrent une précision de déplacement, une planéité et des performances d'oscillation supérieures.
Codeur absolu (en option)
Les codeurs absolus fournissent des informations de position explicites qui permettent de déterminer immédiatement la position. Cela signifie que le référencement n'est pas nécessaire lors de la mise en marche, ce qui augmente l'efficacité et la sécurité pendant le fonctionnement.
Domaines d'application
Tomographie, systèmes de lignes de faisceaux, métrologie des plaquettes, inspection des plaquettes, technologie de mesure, systèmes d'inspection, étalonnage, balayage.
Grâce au mouvement sans friction, aucune particule ne se forme, ce qui rend les platines PIglide idéales pour les applications en salle blanche.
moteur couple triphasé
- Sans balais
- Faible couple de cognement
Accessoires et options
- Codeur incrémental ou absolu
- Filtre PIglide et kit de préparation d'air
- Contrôleurs de mouvement et servomoteurs mono ou multi-axes
- Configurations multi-axes/personnalisées
- Plaques de base en granit et systèmes de réduction des vibrations
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